威科儀器起訴中國專(zhuān)利局，中微半導體“躺槍”

據中國法院網(wǎng)消息，科創(chuàng )板首批上市公司之一的中微半導體設備（上海）有限公司被卷入威科儀器行政專(zhuān)利糾紛案。

根據法院起訴狀副本顯示，起訴方是威科儀器有限公司起訴被告國家知識產(chǎn)權局、第三人中微公司專(zhuān)利行政糾紛，該案目前已被北京知識產(chǎn)權法院受理，法院將于2020年9月10日下午14時(shí)開(kāi)庭審理此案。

截至發(fā)稿前，中微公司未對該案予以置評。

國際電子商情小編了解到，這起訴訟可以追溯到2017年的一起專(zhuān)利無(wú)效案。

2017年5月，中微半導體向國家知識產(chǎn)權局申請對威科儀器的專(zhuān)利進(jìn)行無(wú)效宣告，而國家知識產(chǎn)權局于2017年9月開(kāi)始審理，并于2018年1月決定由威科儀器申請的“通過(guò)化學(xué)汽相沉積在晶片上生長(cháng)外延層的無(wú)基座式反應器（專(zhuān)利號 018225507.1）”發(fā)明專(zhuān)利無(wú)效。

而威科儀器對國家知識產(chǎn)權局審理的專(zhuān)利無(wú)效決定感到不滿(mǎn)，并向北京知識產(chǎn)權法院提起行政訴訟，該案于2018年被受理，定于2020年9月10日下午14時(shí)開(kāi)庭審理。

據了解，“化學(xué)氣相沉積裝置”專(zhuān)利涉及的MOCVD裝置為生產(chǎn)半導體器件如發(fā)光二極管（LED）芯片的核心設備，占據半導體行業(yè)價(jià)值鏈的重要位置，對產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要影響。

而中微半導體在2018年時(shí)也因為相關(guān)專(zhuān)利被其競爭對手之一——維易科精密儀器就該專(zhuān)利提出無(wú)效宣告請求。

2018年，維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司于2018年就專(zhuān)利權人中微半導體設備（上海）有限公司的實(shí)用新型專(zhuān)利權（專(zhuān)利號：ZL201220056049.5）提出的無(wú)效宣告請求，國家知識產(chǎn)權局原專(zhuān)利復審委員會(huì )經(jīng)審理作出審查決定，在修改后的權利要求書(shū)的基礎上維持中微半導體專(zhuān)利權有效。

據悉，該設備包括旋轉的主軸和隨之轉動(dòng)的托盤(pán)。在工作時(shí)，芯片放置在托盤(pán)上，并由托盤(pán)帶動(dòng)其進(jìn)行轉動(dòng)，同時(shí)通過(guò)氣相沉積工藝在芯片表面沉積外延層。半導體芯片的高度精密性對于托盤(pán)轉動(dòng)的平穩性和精度有著(zhù)極高要求。涉案專(zhuān)利就是對于主軸和托盤(pán)之間連接方式的改進(jìn)。